说起半导体,很多人一听EUV就觉得是巨大上的玩意,能搞出最顶级的芯片,DUV呢,就好像老黄牛,干活多却不显眼。可实在的状况呢,德国蔡司这家光学老将的陈述摆在那,直指DUV才是线%的微电子芯片,都是靠DUV光刻机一步步刻出来的,里边95%的要害层级还得指着DUV来完结。EUV呢,尽管牛,能处理7纳米以下的精密活儿,但它也就是在少量几层上露一手,大头仍是DUV扛着。
蔡司跟ASML协作多年,他们的镜片是光刻机的魂灵,独家供给。DUV的波长从365纳米到193纳米,掩盖0.35微米到14纳米这些干流制程,够用又实惠。EUV的13.5纳米波长是短,但一台机器动辄上亿欧元,保护还费事,只要台积电、三星、英特尔这些大厂才玩得起。
想想看,手机、电脑、轿车这些日常姿色,里边芯片的绝大部分层级,都是DUV在忙活。蔡司的资料显现,即使EUV上场了,芯片出产里90%的活仍是DUV包圆。这不是吹嘘,职业数据都这么摆着,DUV的老练度高,设备数量多,全球上千台在转,满意从消费电子到工业操控的各种需求。
DUV的浸没式技能是要害转机。2002年,台积电的林本坚提出在空气空隙里加高纯水,激光经过水层折射,有用波长缩短,分辨率直奔40纳米以下。这招不但提高精度,还把功率翻倍,良率也上去了。
ASML很快就商用化,蔡司的镜片也跟着优化,镀膜抗反射,习惯水环境不走样。从干式到浸没式,DUV直接延长了寿数,从90纳米一路杀到28纳米。林本坚的思路简略有用,没搞那些花里胡哨的157纳米F2激光,回头就把193纳米ArF玩出新高度。成果呢,全球芯片密度蹭蹭上涨,本钱却压得住。
老练芯片的商场更大,这点谁也否定不了。先进节点像5纳米、3纳米,需求旺盛,但总量也就千亿颗等级。28纳米以上的老练制程呢?万亿颗起步,轿车、家电、工业这些范畴,全赖它驱动。轿车里,智驾芯片和车机要先进货,但操控器、传感器、功率模块这些,28纳米就够了,还得耐高温、耐腐蚀。
新能源轿车和燃油车都相同,电池办理、电机驱动,满是老练芯片的全国。家电呢,智能冰箱、洗衣机,操控板低本钱高牢靠,DUV一抓一大把。工业操控更别提,PLC、传感器这些,寿数10年以上,DUV的批量功率正好对路。
蔡司的独占不是白来的,他们光学技能深沉,从1990年代起砸钱建厂,镜片粗糙度操控在0.1纳米以下。全球芯片80%用他们的元件,DUV镜片年产上百套,EUV虽杂乱但数量少。2025年,蔡司陈述重申,DUV占出产时刻的70%以上,这柱石位置稳。
疫情那会儿,供给链凌乱,DUV的标准化救场,修理几天搞定,EUV得等稀有资料。成果,DUV产值涨15%,撑起长途工作的浪潮。物联网年代,DUV需求再增20%,蔡司工厂加班加点,这一切都让DUV在工业链里扎根深。
DUV的迭代也快,2006年ASML的TWINSCAN XT:1900系列,分辨率38纳米,良率提高20%。苹果A系列芯片,80%层靠DUV,图画对齐差错1纳米内。韩国三星、美国英特尔,全线DUV支撑。
本钱上,DUV一台一半EUV价,装置调试快,全球布置数千台。蔡司的蒸镀线,自动化臂层层涂膜,合格率99%。这技能不但有用,还接地气,帮中小厂也分杯羹。
美国一出手,EUV就卡壳了,但DUV的门还开着,这遗漏让我国企业抓住了大把时机。2018年4月,中芯世界砸1.5亿美元,从ASML订了台EUV,等于一整年利润全搭上。原本方案2019年末交给,2020年中装置,谁知美国施压荷兰,2019年9月答应直接撤消。ASML仓库里的机器打包好又拆,退库存,订单黄了。
成果呢,我国转向DUV,收购量爆表。2022年全年,从ASML进口约100台DUV,价值21亿欧元,170亿人民币。供给链司理们盯着目录,下单如雨,港口货车排队,设备囤得满满。
2023年更猛,前三季度52.8亿欧元,403亿人民币,几乎是2022年我国全年销量的两倍。全年ASML出货449台光刻机,53台EUV,396台DUV,大头去我国。10月21台,价值6.725亿美金;11月16台,7.627亿美金。海关数据,2023年12月进口额同比暴升1000%,总计超600亿够用3-5年。
美国制裁步步紧逼,2019年禁EUV,2022年10月拜登新规限7纳米以下DUV,但28纳米以上豁免。我国企业窗口期短,举动快,积压订单2023年会集开释。
ASML我国区总裁沈波说,到2023年末,我国光刻机总数近1400台,下一年需求还旺。荷兰政府2023年3月收紧部分DUV,但晚了,库存已够。我国从ASML买的DUV,占他们销售额20%,装配线昼夜转,镜片供给不减。
这失算根子在评价误差,美国商务部2021年陈述,焦点全EUV,DUV标低危险。成果,我国用DUV冲老练商场,避开壁垒。林本坚的浸没式遗产扩大,40纳米分辨率正好28纳米用,高纯水膜稳折射,功率50%。
中芯世界、华虹扩产,北京、上海、昆山厂新增线,产值翻倍。ASML财报,2023年我国订单45%是DUV体系,390亿欧元积压里20%我国货。
制裁连锁,ASML股价晃,但我国不慌,DUV运转超800台,保护简略,水质一调就好。一次激光偏移,半响修好,产值不掉。全球看,ASML正告制裁加快我国自研,黄仁勋也说我国会包围。荷兰不甘愿,钻方针空子,灵敏出口。
美国官员吹见效,ASML CEO却说我国落后10-15年,但工业还在长。我国搭起芯片生态,DUV囤积稳后路。英国新闻媒体报道,我国测验国产DUV,美国轻视立异。逆向工程ASML DUV,拆机学,。
转瞬2025年,我国28纳米以上老练芯片产能占全球33%,从2023年的27%蹿上来。半导体协会数据,2024年31%,2025年33%。中芯世界一家就占大头,全球比例31.5%。华泰证券测算,2023年我国12寸8寸老练制程29%和25%,年均扩张27%。
轿车、家电、工业这些,老练芯片是命根。2025年新能源轿车销量破千万,70%需求28纳米,功率办理、传感器全赖它。比亚迪、长城这些,操控器耐150度高温,本钱几分钱。出口欧洲,通用轿车用我国货,装置电池组稳。工业操控,海尔、美的PLC板,寿数15年,湿度95%无故障。全球工业自动化投千亿,我国供25%,传感器占40%。
产能出资猛,2025年基金砸数百亿,新厂如雨。无锡华虹、南京扩建,月产860万片晶圆,增13%。2024年前两月集成电路出口狂飙,28纳米一统全球四分之三比例。
DUV耐性如镜片,照亮路。2025年出口数百亿,嵌入博世模块。海外调整战略,增库存。我国比例攀,全球依靠加,话事人位置实打实。这波,从筑基到称王,逻辑清楚,稳扎稳打。

